真空法兰螺栓怎么装？真空密封连接

真空法兰螺栓怎么装？真空密封连接

真空设备对泄漏极其敏感，一条微小的漏气通道就能让真空度上不去。真空法兰的密封，螺栓的安装质量起着决定性作用。真空法兰螺栓怎么装才能保证密封？今天讲清楚真空密封连接的要点。

真空法兰密封的原理

真空法兰靠螺栓把两个法兰面压紧，中间夹密封圈，密封圈被压缩变形填满法兰面的微观不平，实现密封。

真空密封的可靠性和两个因素直接相关：一是密封圈的压缩量，二是螺栓压紧力是否均匀。压缩量不够，漏气；压紧力不均，密封圈一侧压扁一侧没压到，也漏。

真空法兰螺栓的选型

真空环境用的螺栓有讲究：

材料方面，304、316不锈钢是主流，耐腐蚀、放气率低；要求更高用无磁不锈钢或特殊合金。碳钢螺栓在真空里会放气、生锈，一般不用于真空法兰。

螺纹方面，真空法兰螺栓用细牙螺纹更好，细牙自锁性好、预紧力控制更精确。

表面处理方面，不锈钢螺栓通常不镀层，直接使用或做电解抛光。

真空法兰螺栓怎么装

第一，法兰面处理。安装前法兰面要清洁，不能有油脂、划痕、锈斑。密封圈槽要清理干净。

第二，密封圈放置。密封圈要完好无损、尺寸合适，放正不扭曲。氟橡胶圈低温会变硬，安装环境温度要合适。

第三，螺栓对称预紧。真空法兰必须对称、分步拧紧，不能按顺序一个接一个拧紧。正确做法是：对角方向依次预紧，分2-3遍逐步加力，最后用扭矩扳手按力矩值终拧。

第四，扭矩控制。真空法兰螺栓有推荐的扭矩范围，扭矩太大密封圈压溃失效，太小密封不足。M6螺栓在CF法兰上常见的扭矩是6-9牛米，具体按法兰规格和密封圈材质定。

第五，顺序复紧。全部拧紧后，再按对角线顺序复紧一遍，消除前面的松动和应力不均。

真空泄漏怎么排查

装配完成后用氦质谱检漏仪检测：向法兰周围喷氦气，检漏仪检测泄漏。发现泄漏先检查螺栓扭矩是否均匀，再检查密封圈是否损伤、法兰面是否平整。螺栓松紧不均是最常见的泄漏原因，重新按规程拧一遍往往就能解决。

真空法兰安装是精细活：清洁、对称、分步、控扭、检漏，五步缺一不可。特别是半导体、科研设备的真空系统，一次装配不到位，反复抽真空浪费时间还影响设备运行。

真空连接的检漏

真空法兰装好后要检漏，检漏是验证密封的关键：常用氦质谱检漏，对法兰连接处、焊缝、密封面逐一检查。检漏要在抽真空状态下进行，先粗抽再精检，发现漏点立即处理。检漏合格后要做好记录，纳入设备档案。真空系统的密封是"装得好不好"的最终检验，装得再快，漏了也是白装。新装系统、维修后系统都要做检漏，别省这一步。

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